Информация об авторе
Бобылев, А. В.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 52, № 4 (2023) | ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ | Концентрация атомов фтора и кинетика реактивно-ионного травления кремния в смесях CF4 + O2, CHF3 + O2 и C4F8 + O2 |
Пользователь
Уведомления
Информация
Подписка
Войти в систему, чтобы проверить подписку
Ключевые слова
атомы фтора
диссоциация
зарядовый кубит
интенсивность излучения
ионизация
квантовая точка
кинетика
концентрации частиц
кремний
мемристор
механизм
моделирование
молекулярно-лучевая эпитаксия
наноэлектроника
плазма
полимеризация
приведенная напряженность электрического поля
температура газа
тетрафторметан
травление
удельная мощность
×
Пользователь
Уведомления
Информация
Подписка
Войти в систему, чтобы проверить подписку
Ключевые слова
атомы фтора
диссоциация
зарядовый кубит
интенсивность излучения
ионизация
квантовая точка
кинетика
концентрации частиц
кремний
мемристор
механизм
моделирование
молекулярно-лучевая эпитаксия
наноэлектроника
плазма
полимеризация
приведенная напряженность электрического поля
температура газа
тетрафторметан
травление
удельная мощность