Информация об авторе

Ефремов, А.

Выпуск Раздел Название Файл
Том 53, № 1 (2024) ТЕХНОЛОГИИ Параметры и состав плазмы в смеси CF4 + H2 + Ar: эффект соотношения CF4/H2
Том 52, № 5 (2023) ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ О влиянии малых добавок F2, H2 и HF на концентрации активных частиц в плазме тетрафторметана
Том 52, № 4 (2023) ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ Концентрация атомов фтора и кинетика реактивно-ионного травления кремния в смесях CF4 + O2, CHF3 + O2 и C4F8 + O2
Том 52, № 2 (2023) ТЕХНОЛОГИЯ Параметры плазмы и кинетика реактивно-ионного травления SiO2 и Si3N4 в смеси HBr/Cl2/Ar
Том 52, № 1 (2023) ДИАГНОСТИКА Контроль параметров травления кремния в вч плазме CHF3 методом оптической эмиссионной спектроскопии
Том 52, № 1 (2023) ТЕХНОЛОГИЯ Параметры газовой фазы и кинетика реактивно-ионного травления SiO2 в плазме CF4/C4F8/Ar/He
Том 53, № 6 (2024) ДИАГНОСТИКА Состав газовой фазы и кинетика атомов фтора в плазме SF6
Том 53, № 6 (2024) ТЕХНОЛОГИИ Параметры плазмы и кинетика травления Si/SiO2 в смесях фторуглеродных газов с аргоном и гелием