Температурные остаточные напряжения при лазерной иммерсионной резке металлов

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Доступ платный или только для подписчиков

Аннотация

Показаны преимущества использования лазерного сверления и резки при получении отверстий в металлах. Приведены расчетные данные температуры и температурных остаточных напряжений при лазерной и лазерной иммерсионной резке.

Об авторах

А. Ю. Албагачиев

Институт машиноведения им. А.А. Благонравова РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: albagachiev@yandex.ru
Россия, Москва

Список литературы

  1. Kondratenko V.S., Naumov A.S., Velikovskiy I.E. Taiwan Patent 107129739, 2018.
  2. Кондратенко В.С., Лу Х.-Т., Наумов А.С., Великовский И.Э. Лазерная резка кремниевых подложек изготовленных методом Taiko // Прикладная физика. 2020. № 1. С. 71.
  3. Лу Х.-Т., Кондратенко В.С., Наумов А.С., Великовский И.Э., Зобов А.К. Новая технология лазерной резки кремниевых подложек “TAIKO” // Сборник докладов конференции “Оптические технологии, материалы и системы (Оптотех-2019)”; ФТИ Российского технологического университета / Под редакцией В.С. Кондратенко. М.: РТУ-МИРЭА, 2019. С. 16.
  4. Murakami R., Nakagawa H., Matsuo S. Water-Assisted Laser Drilling for Miniature Internal Thread in Glass and Evaluation of Its Strength // J. of Laser Micro Nanoengineering. 2017. V. 12. № 3. P. 203.
  5. Arai Y., Sako T., Takebayashi Y. Supercritical fluids: molecular interactions, physical properties and new applications. Berlin: Springer, 2002.

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать
2.

Скачать (649KB)
Метаданные
3.

Скачать (30KB)
Метаданные
4.

Скачать (33KB)
Метаданные

© А.Ю. Албагачиев, 2023